Рис. 6. Скорость абляции эксимерного лазера с длиной волны 353 нм (XeF): а) в узком диапазоне плотностей энергии до 400 мДж/см; б) в широком диапазоне значений плотности энергии

Рис. 6. Скорость абляции эксимерного лазера с длиной волны 353 нм (XeF): а) в узком диапазоне плотностей энергии до 400 мДж/см; б) в широком диапазоне значений плотности энергии